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單項選擇題LIGA技術(shù)使用的X光波長在（）nm之間，可以得到大深寬比的精細結(jié)構(gòu)。

A.0.05～0.1
B.0.1～0.2
C.0.2～1
D.1～5

1.單項選擇題光刻電鑄的最大加工厚度為（）μm。

A.300
B.400
C.500
D.600

2.單項選擇題超精密加工技術(shù)通常是指被加工零件的尺寸精度低于（）μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術(shù)。

A.0.01
B.0.1
C.1
D.10

3.單項選擇題水射流設(shè)備的供水系統(tǒng)是將水質(zhì)軟化，使PH值達到（）。

A.3～4
B.4～6
C.6～8
D.8～9

4.單項選擇題哪項不屬于虛擬軸機床的特點。（）

A.結(jié)構(gòu)簡單，但剛度低
B.主體部件多為通用件
C.精度高
D.動態(tài)性能好

5.單項選擇題虛擬軸機床通過調(diào)節(jié)六驅(qū)動桿的長度，可使主軸和刀具實現(xiàn)（）個自由度的空間運動。

A.3
B.4
C.5
D.6

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