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填空題（）加工是目前特種加工工藝方法中最精密、最微細的加工方法。

1.填空題離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等（）作用，而不像電子束是通過（）效應(yīng)進行加工。

2.填空題在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的（），也是控制MOSFET閾值電壓的一個重要手段。

3.填空題金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的（）性能、（）強度和（）性能。

4.填空題電子束曝光抗蝕劑對離子的靈敏度要比對電子束（），因而可獲得更加精細的圖樣。

5.填空題離子束加工時，由于離子質(zhì)量大，當速度高、能量大時，垂直撞擊時離子可注入工件材料內(nèi)部，稱（）。當速度低、能量小時，離子可以濺射鍍覆在工件表面，稱（）。當能量速度（）而傾斜撞擊工件時，可將工件表面的分子，原子撞擊出去，一層一層的剝離下來，稱為（）加工或（）加工。