問答題
有一臺變間隙非接觸式電容測微儀,其傳感器的極板半徑r=4mm,假設(shè)與被測工件的初始間隙δ0=0.3mm,已知極板間介質(zhì)為空氣,空氣介電常數(shù)ε0=8.85*10-12F/m,試問
(1)如果傳感器與工件的間隙變化量Δδ=+10μm,那么電容變化量為多少?
(2)如果測量電路的靈敏度K=100mV/pF,則在Δδ=+1μm時的輸出電壓為多少?
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