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填空題PECVD所采用的等離子種類有（）。

1.填空題物理氣相沉積法是利用（）將原料加熱，使之汽化或形成（），在基體上冷卻凝聚成各種形態(tài)的材料（如晶須、薄膜、晶粒等）的方法。其中以（）、（）較為常用。

2.填空題熔體生長法主要有（）等。

3.問答題在301K時，鮮牛奶大約在4h后變酸；但在278K時，鮮牛奶要在48h后才變酸。假定反應(yīng)速率與牛奶變酸時間成反比，求牛奶變酸反應(yīng)的活化能。

4.問答題 已知反應(yīng)，在298K時，KΘ=4.86×10¹⁶，試計算500K時該反應(yīng)的KΘ和ΔrGmΘ。

5.問答題計算壓力為100kPa，298K及1400K時如下反應(yīng)CaCO₃(s)=CaO(s)+CO₂(g)的ΔrGmΘ，判斷在此兩溫度下反應(yīng)的自發(fā)性，估算該反應(yīng)可以自發(fā)進(jìn)行的最低溫度。