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填空題超精密機床導(dǎo)軌部件要求有極高的直線運動精度，不能有爬行。除要求導(dǎo)軌有很高的制造精度外，還要求導(dǎo)軌的材料具有（）、（）和（）。

1.判斷題等脈沖電源是指每個脈沖在介質(zhì)擊穿后所釋放的單個脈沖能量相等。對于矩形波等脈沖電源，每個脈沖放電持續(xù)時間相同。

2.判斷題電解加工時，串連在回路中的降壓限流電阻使電能變成熱能而降低電解加工的電流效率。

3.判斷題電致伸縮微量進給裝置的三大關(guān)鍵技術(shù)是電致伸縮傳感器、微量進給裝置的機械結(jié)構(gòu)及其驅(qū)動電源。

4.判斷題法拉第電解定律認為電解加工時電極上溶解或析出物質(zhì)的量與通過的電量成正比，它也適用于電鍍。

5.判斷題在超精密磨削時，如工件材料為硬質(zhì)合金，則需選用超硬磨料砂輪。