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填空題實現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括：（）、（）、（）、（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

1.填空題電火花型腔加工的工藝方法有：（）、（）、（）、簡單電極數(shù)控創(chuàng)成法等。

2.填空題電火花加工按工件和工具電極相對運動的關(guān)系可分為：電火花（）、電火花（）、電火花（）、電火花（）、電火花表面強化和刻字等類型。

3.填空題影響電火花加工精度的主要因素有：（）及其一致性、（）及其穩(wěn)定性和（）。

4.填空題電火花加工型腔工具電極常用的材料有：（）、（）、（）等。

5.填空題實現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。