問答題敘述MEMS（微型機(jī)電系統(tǒng)）的基本特征，目前有哪些微型機(jī)械加工技術(shù)？

參考答案： 基本特征：體積小、重量輕、能耗低、性能穩(wěn)定；有利于大批量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本；慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短；集約高技術(shù)成...