問(wèn)答題為何在關(guān)共吸閥時(shí)，當(dāng)兩吸附室壓力差超過(guò)0.2MPa時(shí)，必須打開(kāi)共吸閥，兩吸附室頂重新排氣？

參考答案：

如果兩吸附室壓差超過(guò)0.2MPa，兩個(gè)吸附壓力波動(dòng)大，會(huì)損壞格柵等吸附室相關(guān)安全部件。