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填空題真空泵有（）和（）兩大指標(biāo)。

1.填空題程序控制閥是由閥體、驅(qū)動(dòng)、（）三部分組成。

2.填空題有效氣體（）是變壓吸附裝置主要考核指標(biāo)之一。

3.填空題活性氧化鋁對(duì)水有較強(qiáng)的親和力，是一種對(duì)微量水（）用的吸附劑。

4.填空題物理吸附也稱（）吸附，它是由吸附質(zhì)分子和吸附劑表面分子之間的引力所引起的。

5.填空題變壓吸附停車后要把處于真空狀態(tài)的吸附塔用壓力較低塔（）以防止抽入空氣。