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填空題超聲波液位傳感器根據(jù)測量介質(zhì)不同分為（）式、（）式和（）式三類。

1.填空題在國際單位制中，體積流量的單位為（）（m³／s）。

2.填空題振動(dòng)的測量值有（）、（）和（）三個(gè)。

3.填空題超聲波流量計(jì)由超聲波（）、（）及（）和（）三部分組成。

4.填空題差壓式流量計(jì)由（）、（）、（）和（）等部分組成。

5.填空題流量計(jì)按測量對象分有封閉管道和明渠流量計(jì)兩大類；按測量原理則分為（）式、（）式、（）式和（）式流量計(jì)四大類。