問答題為何在離子注入后， 需要熱處理（ Thermal Anneal）的工藝？

參考答案：

①為恢復(fù)經(jīng)離子注入后造成的芯片表面損傷；
②使注入離子擴(kuò)散至適當(dāng)?shù)纳疃龋?br /> ③使注入離子移動到適當(dāng)?shù)木Ц裎恢谩?/p>