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填空題并行工程的特征為（），（），（），（）。

1.填空題柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），（）和一套計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。

2.填空題大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有（），（），（），（），（）。

3.填空題常用的看板有（），（）兩種。

4.填空題快速原型制造技術(shù)的熔絲沉積成形法通常采用的原材料是（）。

5.填空題精密與超精密加工有色金屬時(shí)，常用的刀具材料為（）。