問答題什么叫物理氣相沉積，有何優(yōu)缺點？

參考答案： 物理氣相沉積是在高真空容器中，Ti受熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子與通入工作室中的氣體相遇（按比例），并被離子激活，在工件負偏壓...