問答題化學(xué)氣相沉積（CVD）

參考答案：

反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)沉積在加熱的固體基表面，進而制得固體材料的工藝技術(shù)。