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填空題微細(xì)加工中的三束加工是指（）、（）、（）

1.填空題超精密機(jī)床的關(guān)鍵部件包括：（），（），（），其中機(jī)床的床身多采用（）制造。

2.填空題綠色制造技術(shù)是指在保證產(chǎn)品的功能；質(zhì)量；成本的前提下，綜合考慮（）和（）的現(xiàn)代制造模式。

3.填空題及時(shí)制生產(chǎn)追求的目標(biāo)為零（），零（），零（），零（）。

4.填空題超高速機(jī)床主軸的結(jié)構(gòu)常采用交流伺服電動(dòng)機(jī)內(nèi)置式集成結(jié)構(gòu)，這種主軸通常被稱為（）

5.填空題精益生產(chǎn)的體系結(jié)構(gòu)中三大支柱是（），（）和（）。