單項選擇題激光干涉儀的最小分辯率為（）。

A.0.02um
B.0.05um
C.0.08um
D.0.1um


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1.單項選擇題激光干涉儀的最大移動速度為（）。

A.100mm/s
B.200mm/s
C.300mm/s
D.500mm/s

2.單項選擇題激光干涉儀的測量精度為（）（L：被測量長度）

A.2×10-7L
B.5×10-7L
C.5×10-8L
D.3×10-8L

3.單項選擇題下列儀器中，（）適合對大尺寸進行精密測量。

A．合像水平儀
B．水準式水平儀
C．激光干涉儀
D．測微準自望遠鏡

4.單項選擇題激光干涉儀，不適合對（）誤差進行測量。

A.直線度
B.圓度
C.平面度
D.垂直度

5.單項選擇題直接在機床工作臺或花盤上安裝工件，這種工件的安裝方法一般精度（）生產率（）。

A、高、低
B、高、一般
C、不高、低
D、不高、一般