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廢氣CEMS比對監(jiān)測時，氣態(tài)污染物參比方法采樣位置與CEMS測定位置靠近但不干擾CEMS正常取樣，也可以從CEMS排氣裝置處直接采樣監(jiān)測。
《固定污染源排放煙氣黑度的測定 林格曼煙氣黑度圖法》（HJ/T398-2007）規(guī)定，觀察煙氣黑度應(yīng)在比較均勻的天空光照下進行，如果在陰天的情況下觀察，在讀數(shù)時應(yīng)根據(jù)經(jīng)驗取稍低的級數(shù)（減去0.25級或0.5級）。
根據(jù)《固定污染源排放煙氣黑度的測定 林格曼煙氣黑度圖法》（HJ/T398-2007），觀察煙氣的部位應(yīng)選擇選在黑度最大的地方，該部位可以有冷凝水蒸氣存在。
酸堿滴定法測定固定污染源排氣中氮氧化物受其它酸堿性氣體的干擾。當氣體樣品中含有硝酸霧時，采樣瓶前應(yīng)連接 1～2支內(nèi)裝中性玻璃棉的三連球管，以濾除硝酸霧。
根據(jù)《固定污染源廢氣氯化氫的測定硝酸銀容量法》（HJ 548-2016），固定污染源廢氣氯化氫在采樣過程中，若排氣中含有顆粒態(tài)氯化物，應(yīng)在采樣槍與吸收瓶之間接裝內(nèi)含乙酸纖維微孔濾膜的濾膜夾。
廢氣CEMS比對監(jiān)測，當煙氣流速參考方法測定值與CEMS測定值相對誤差不超過±10%時，該煙氣CEMS流速判定為合格。
《環(huán)境空氣 半揮發(fā)性有機物采樣技術(shù)導則》（HJ 691-2014），對于部分沸點較高的主要以顆粒物狀態(tài)存在的SVOCs，可以只使用濾膜進行采樣。
根據(jù)《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法》（GB/T 16157-1996），對圓形煙道，采樣孔應(yīng)設(shè)在包括各測定點在內(nèi)的互相垂直的直徑線上；對矩形煙道，采樣孔應(yīng)設(shè)在包括各測定點在內(nèi)的延長線上。
廢氣CEMS比對監(jiān)測， 除二氧化硫、氮氧化物外，其它污染物參考方法測定值與CEMS測定值相對準確度不超過15%時，該煙氣CEMS判定為合格。
《固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法》（HJ 544-2016）規(guī)定，有組織排放廢氣硫酸霧采樣需等速采樣。