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填空題部分固體介質(zhì)的變間隙式電容傳感器是在犧牲（）前提下?lián)Q取靈敏度的提高。

1.填空題電容式傳感器中，變介電常數(shù)式多用于測量（）

2.填空題電容式傳感器中，變面積式常用于測量較大的（）

3.填空題變間隙式電容傳感器一般用來測量（）的位移。

4.填空題變間隙式電容傳感器的工作原理：變間隙式電容傳感器由（）和（）的極板組成。當（）板隨著被測參數(shù)的變化相對（）移動時，引起間距的變化。從而引起（）發(fā)生變化。測量出電容，即可推算出位移。

5.填空題電容式傳感器是將被測物理量的變化轉(zhuǎn)換成（）變化的器件。