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填空題高速主軸采用的軸承有：（），（），（），（）。

1.填空題微細加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

2.填空題工業(yè)機器人一般由（），（），（）和（）等幾個部分組成。

3.填空題先進制造工藝技術(shù)的特點除了保證優(yōu)質(zhì)、高效、低耗外，還應(yīng)包括（）和（）。

4.填空題系統(tǒng)的可靠性預(yù)測要根據(jù)系統(tǒng)的組成形式分別按（），（）和（）可靠度進行計算。

5.填空題根據(jù)產(chǎn)品的信息來源，反求工程可分為（），（）和（）。