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填空題激光加工的機(jī)理簡單的說，是（）效應(yīng)。

1.填空題電子束加工是使用電子束聚焦后沖擊工件表面，使被沖擊的工件材料達(dá)到幾千℃的高溫，從而引起材料的局部熔化和氣化。它需要有（）系統(tǒng)。

2.填空題高能束流加工是利用能量密度很高的電子束、激光束或（）等去除工件材料的特種加工方法的總稱。

3.填空題微細(xì)加工的特征尺寸范圍為1~10（）。

4.填空題快速原型制造是機(jī)械工程、計算機(jī)技術(shù)、數(shù)控技術(shù)以及（）科學(xué)等技術(shù)的集成。

5.填空題超精密切削加工要求刀具具有極高的（）、極高的耐用度和極高的彈性模量。