問答題

某電容測微儀，其傳感器的圓形極板半徑r=4mm，工作初始間隙d=0.3mm，問：
（1）工作時，如果傳感器與工件的間隙變化量∆d=2µm時，電容變化量是多少？
（2）如果測量電路的靈敏度S1=100mV/pF，讀數(shù)儀表的靈敏度S2=5格/mV，在∆d=2µm時，讀數(shù)儀表的示值變化多少格？

參考答案：

（1）∆C=0.987×10−14F（2）5格