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填空題通常所說的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

1.填空題（）加工是目前特種加工工藝方法中最精密、最微細(xì)的加工方法。

2.填空題離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等（）作用，而不像電子束是通過（）效應(yīng)進行加工。

3.填空題在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的（），也是控制MOSFET閾值電壓的一個重要手段。

4.填空題金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的（）性能、（）強度和（）性能。

5.填空題電子束曝光抗蝕劑對離子的靈敏度要比對電子束（），因而可獲得更加精細(xì)的圖樣。