問答題簡述什么是異類反應(yīng)和同類反應(yīng)？

參考答案： 異類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在硅片表面或非常接近表面。
同類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在離硅片很遠(yuǎn)的高空。必須避免同類反應(yīng)生成薄膜束...