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填空題精密與特種加工按加工方法可以分為（）、（）、（）和（）四大類。

1.填空題精密和超精密磨料加工分為（）加工和（）加工兩大類。

2.填空題金剛石刀具在超精密切削時(shí)所產(chǎn)生的積屑瘤，將影響加工零件的（）和（）。

3.填空題常用的超聲變幅桿有（）、（）及（）三種形式。

4.填空題激光加工設(shè)備主要包括電源、（）、（）、（）、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。

5.填空題實(shí)現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括：（）、（）、（）、（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。