單項選擇題微細(xì)加工技術(shù)中的刻蝕工藝可分為下列哪兩種（）。
a.離子束刻蝕、激光刻蝕
b.干法刻蝕、濕法刻蝕
c.濺射加工、直寫加工
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1.單項選擇題工業(yè)機(jī)器人有多種分類方式，下列不屬于按驅(qū)動方式分類的是（）。
a.氣壓傳動機(jī)器人
b.液壓傳動機(jī)器人
c.電器傳動機(jī)器人
d.智能機(jī)器人
2.單項選擇題硅微體刻蝕加工和硅微面刻蝕加工的區(qū)別在于（）。
a.體刻蝕加工對基體材料進(jìn)行加工，而面刻蝕加工不對襯底材料進(jìn)行加工；
b.體刻蝕加工不對基體材料進(jìn)行加工，而面刻蝕加工對襯底材料進(jìn)行加工；
c.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu)，而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu)；
3.單項選擇題光刻加工采用的曝光技術(shù)中具有最高分辨率的是（）。
A.電子束曝光技術(shù)
B.離子束曝光技術(shù)
C.X射線曝光技術(shù)
4.單項選擇題光刻加工的工藝過程為：（）
A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴(kuò)散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原
5.單項選擇題在進(jìn)行納米級測量非導(dǎo)體的零件表面形貌時，常采用的測量儀器為（）。
A.光學(xué)顯微鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.原子力顯微鏡