問答題
有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=4mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.3mm。試求:
(1)如果傳感器與工件的間隙變化量△d=±10µm,電容變化量為多少?
(2)如果測(cè)量電路的靈敏度足Ku=100mV/pF,則在△d=±1µm戶時(shí)的輸出電壓為多少?
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