問答題什么是硅片的自然氧化層？由自然氧化層引起的三種問題是什么？

參考答案： 自然氧化層：如果曝露于室溫下的空氣或含溶解氧的去離子水中，硅片的表面將被氧化。這一薄氧化層稱為自然氧化層。硅片上最初的自...