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填空題隨著銅布線中大馬士革工藝的引入，金屬化工藝變成刻蝕（）以形成一個(gè)凹槽，然后淀積（）來覆蓋其上的圖形，再利用（）把銅平坦化至ILD的高度。

1.填空題在干法刻蝕中發(fā)生刻蝕反應(yīng)的三種方法是（）、（）和（）。

2.填空題光刻包括兩種基本的工藝類型：負(fù)性光刻和（），兩者的主要區(qū)別是所用光刻膠的種類不同，前者是（），后者是（）。

3.填空題CMP是一種表面（）的技術(shù)，它通過硅片和一個(gè)拋光頭之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來平坦化硅片表面，在硅片和拋光頭之間有（），并同時(shí)施加（）。

4.填空題硅片平坦化的四種類型分別是（）、部分平坦化、（）和（）。

5.填空題終點(diǎn)檢測是指（）的一種檢測到平坦化工藝把材料磨到一個(gè)正確厚度的能力。兩種最常用的原位終點(diǎn)檢測技術(shù)是（）和（）。