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名詞解釋橫向擴(kuò)散

1.名詞解釋恒定表面源擴(kuò)散

在整個擴(kuò)散過程中，雜質(zhì)不斷進(jìn)入硅中，而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。

2.名詞解釋有限表面源擴(kuò)散

擴(kuò)散開始時，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。

3.名詞解釋間隙式擴(kuò)散

4.名詞解釋替位式擴(kuò)散

占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質(zhì)。只有當(dāng)替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位，替位雜質(zhì)才能比較輕易地運(yùn)動到近鄰空位上。

5.名詞解釋蒸發(fā)鍍膜

加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。