單項(xiàng)選擇題()是影響硅器件成品率的一個(gè)重要因素,也是影響器件性能的穩(wěn)定性和可靠性的重要因素。

A.點(diǎn)缺陷
B.線缺陷
C.面缺陷
D.微缺陷


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