問(wèn)答題什么是干法刻蝕？什么是濕法刻蝕？比較二者的優(yōu)缺點(diǎn)。

參考答案： 1）干法腐蝕是應(yīng)用等離子技術(shù)的腐蝕方法，刻蝕氣體在反應(yīng)器中等離子化，與被刻蝕材料反應(yīng)（或?yàn)R射），生成物是氣態(tài)物質(zhì)，從反應(yīng)...