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名詞解釋物理氣相淀積（pvd）

利用某種物理過(guò)程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。

1.名詞解釋RTA（RTP）

就是快速退火，即降低退火溫度，或者縮短退火時(shí)間完成退火。

2.名詞解釋退火

3.名詞解釋溝道效應(yīng)

離子沿溝道前進(jìn)，核阻擋作用小，因而射程比非晶靶遠(yuǎn)得多，這種現(xiàn)象叫溝道效應(yīng)。

4.名詞解釋電子碰撞

注入離子與靶內(nèi)的自由電子和束縛電子碰撞，產(chǎn)生電子空穴對(duì)。注入離子方向基本不變。

5.名詞解釋核碰撞

在離子注入中，注入離子與靶原子核碰撞，將能量傳給靶核，離子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，靶核產(chǎn)生位移。