單項選擇題高速加工機床的進給系統(tǒng)機構(gòu)大多采用（）

A.直線電機
B.滑動絲杠傳動機構(gòu)
C.摩擦傳動機構(gòu)


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1.單項選擇題下列哪種說法不符合綠色制造的的思想（）

A.對生態(tài)環(huán)境無害
B.資源利用率高，能源消耗低
C.為企業(yè)創(chuàng)造利潤

2.單項選擇題在進行納米級測量非導(dǎo)體的零件表面形貌時，常采用的測量儀器為（）

A.光學(xué)顯微鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.原子力顯微鏡

3.單項選擇題光刻加工采用的曝光技術(shù)中具有最高分辨率的是（）

A.電子束曝光技術(shù)
B.離子束曝光技術(shù)
C.X射線曝光技術(shù)

4.單項選擇題硅微體刻蝕加工和硅微面刻蝕加工的區(qū)別在于（）

A.體刻蝕加工對基體材料進行加工，而面刻蝕加工不對襯底材料進行加工
B.體刻蝕加工不對基體材料進行加工，而面刻蝕加工對襯底材料進行加工
C.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu)，而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu)

5.單項選擇題光刻加工的工藝過程為（）

A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原