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填空題為提高光柵式測試系統(tǒng)的分辨率和測得比柵距更小的位移量，經(jīng)常采用（）技術(shù)。

1.填空題被測量的值處在穩(wěn)定狀態(tài)下，傳感器輸出與輸入的關(guān)系稱為傳感器的（），其主要技術(shù)指標有：（）、（）遲滯和重復性等。

2.填空題電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器，主要類型有：變極距型、（）、（）。

3.填空題傳感器是一種以一定精確度把被測量轉(zhuǎn)換成（）有確定關(guān)系、便于應用的某種物理量才測量裝置。一般由（）、（）和轉(zhuǎn)換電路組成。

4.填空題傳感器的靜態(tài)特性主要包括（）、（）、重復性、穩(wěn)定性和靜態(tài)誤差。

5.填空題射線式傳感器主要由（）和探測器組成，常用的探測器有（）、閃爍計數(shù)器和蓋革計數(shù)管。