多項(xiàng)選擇題RF電源故障解析:同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常()?
A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢
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1.多項(xiàng)選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。
A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源
2.多項(xiàng)選擇題下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是()。
A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列
3.多項(xiàng)選擇題EnDpointDeteCtion 方法有()。
A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察
4.多項(xiàng)選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有()。
A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測(cè)試氣體離子
5.多項(xiàng)選擇題分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)()?
A.部品(配線和線架)可削減
B.配線整理作業(yè)可削減
C.指定配線等的管理工數(shù)部品在庫(kù)數(shù)可削減
D.不只是設(shè)備側(cè)的遠(yuǎn)程控制、也可進(jìn)行本地操作
最新試題
工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有()。
題型:多項(xiàng)選擇題
RF 電源適用的設(shè)備是()。
題型:多項(xiàng)選擇題
UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么()?
題型:多項(xiàng)選擇題
下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。
題型:多項(xiàng)選擇題
離子濺射泵的特點(diǎn)是什么()?
題型:多項(xiàng)選擇題
步進(jìn)電機(jī)上有()根接線,其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí),可添加指令(),并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
()又稱“島式加工單元”。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么()?
題型:多項(xiàng)選擇題
工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是()。
題型:多項(xiàng)選擇題