多項選擇題RF 電源適用的設(shè)備是()。
A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning
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1.多項選擇題RF電源故障解析:同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常()?
A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢
2.多項選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。
A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源
3.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是()。
A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列
4.多項選擇題EnDpointDeteCtion 方法有()。
A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察
5.多項選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有()。
A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測試氣體離子
最新試題
熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓,如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓,熔體熔斷是可能會發(fā)生()的危險。
題型:單項選擇題
工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有()。
題型:多項選擇題
離子濺射泵優(yōu)點是什么()?
題型:多項選擇題
()又稱“島式加工單元”。
題型:單項選擇題
檢漏儀分析管的離子源作用有()。
題型:多項選擇題
套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式,小鏈節(jié)用卡簧式,其鏈節(jié)為()。
題型:單項選擇題
下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。
題型:多項選擇題
RF 電源適用的設(shè)備是()。
題型:多項選擇題
對于影響成膜的異常放電發(fā)生時,關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是()。
題型:多項選擇題
下列屬于熱陰極電離真空計的是()。
題型:多項選擇題