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填空題優(yōu)化設(shè)計(jì)的三要素是：（），（），（）。

1.填空題高速主軸采用的軸承有：（），（），（），（）。

2.填空題微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

3.填空題工業(yè)機(jī)器人一般由（），（），（）和（）等幾個(gè)部分組成。

4.填空題先進(jìn)制造工藝技術(shù)的特點(diǎn)除了保證優(yōu)質(zhì)、高效、低耗外，還應(yīng)包括（）和（）。

5.填空題系統(tǒng)的可靠性預(yù)測要根據(jù)系統(tǒng)的組成形式分別按（），（）和（）可靠度進(jìn)行計(jì)算。