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填空題在機電一體化產品的功能原理方案設計中，其功能元的組合方式常用的有串聯(lián)結構、并聯(lián)結構和（）三種形式。

1.填空題壓電式加速度傳感器中壓電元件變形后所產生的（）與加速度成正比。

2.填空題滾珠絲桿副中滾珠的循環(huán)方式有內循環(huán)和（）兩種

3.填空題直流伺服電機的優(yōu)點是穩(wěn)定性好、可靠性好、響應速度快和扭矩大等；無刷直流伺服電動機的優(yōu)點是無換向器、可控性好和（）等

4.填空題直流伺服電機的機械特性指當控制電壓U_a一定時，（）與轉速之間的關系；調節(jié)特性指在輸出轉矩一定時，轉速與控制電壓之間的關系。

5.填空題傳感器的靈敏度反映了被測量的數(shù)值處在穩(wěn)定狀態(tài)時，（）的變化量與輸入量的變化量的比值。