問答題

說明擴散雜質的高斯分布特點（有限源擴散屬于此分布）

參考答案：

①在整個擴散過程中，雜質總量保持不變；
②擴散時間越長，擴散溫度越高，則雜質擴散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質濃度可控。