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判斷題對正性光刻來說，剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準(zhǔn)確復(fù)制。

1.判斷題曝光后烘焙，簡稱后烘，其對傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。

2.判斷題光刻區(qū)使用黃色熒光燈照明的原因是，光刻膠只對特定波長的光線敏感，例如深紫外線和白光，而對黃光不敏感。

3.判斷題步進光刻機的三個基本目標(biāo)是對準(zhǔn)聚焦、曝光和合格產(chǎn)量。

4.判斷題最早應(yīng)用在半導(dǎo)體光刻工藝中的光刻膠是正性光刻膠。

5.判斷題沒有CMP，就不可能生產(chǎn)甚大規(guī)模集成電路芯片。