問答題什么是淺槽溝道隔離？其主要作用是什么？說明其主要優(yōu)點及適用工藝范圍？

參考答案： 是刻蝕掉部分襯底形成溝槽（槽刻蝕），再在其中回填上介電質（回填）作為相鄰器件之間的絕緣體的一種器件隔離方法。
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