問(wèn)答題金屬層間介質(zhì)的作用是什么？通常用什么材料作層間介質(zhì)層？

參考答案：

作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質(zhì)層）
通常用氧化硅作為層間介質(zhì)層。