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名詞解釋飽和蒸氣壓

在一定的溫度下，真空室內(nèi)蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固態(tài)或液態(tài)平衡時(shí)所表現(xiàn)出來(lái)的壓力。

1.名詞解釋真空蒸發(fā)

利用蒸發(fā)材料在高溫時(shí)所具有的飽和蒸氣壓進(jìn)行薄膜制備。

2.名詞解釋物理氣相淀積（pvd）

利用某種物理過(guò)程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。

3.名詞解釋RTA（RTP）

就是快速退火，即降低退火溫度，或者縮短退火時(shí)間完成退火。

4.名詞解釋退火

5.名詞解釋溝道效應(yīng)

離子沿溝道前進(jìn)，核阻擋作用小，因而射程比非晶靶遠(yuǎn)得多，這種現(xiàn)象叫溝道效應(yīng)。