問(wèn)答題什么是光刻？光刻的主要流程有哪些？

參考答案：

光刻就是通過(guò)一系列生產(chǎn)步驟，將晶圓薄膜的特定部分去除的工藝。
流程有晶圓涂光刻膠、曝光、顯影、烘干。