問答題列出并解釋替位雜質(zhì)在硅中的三種主要擴(kuò)散機(jī)制。

參考答案： 直接交換，空位交換，間隙擴(kuò)散：替位雜質(zhì)在硅中擴(kuò)散的第三個(gè)重要機(jī)制取決于硅自填隙原子的存在。