問答題試說明擴(kuò)散工藝中常用的擴(kuò)散摻雜方法，并說明當(dāng)前實(shí)際工藝中使用的主要方法及理由。

參考答案： 固態(tài)源擴(kuò)散、液態(tài)源擴(kuò)散和氣態(tài)源擴(kuò)散。
硼和磷在室溫，低蒸汽壓下是固態(tài)的，很難熔化或蒸發(fā)，且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...