填空題在工程實(shí)際中，應(yīng)用最為廣泛的調(diào)節(jié)器控制規(guī)律為（），簡(jiǎn)稱PID.控制
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下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。
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應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。
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從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。
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使用氦氣檢漏的原因是（）。
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RF 電源適用的設(shè)備是（）。
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RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？
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磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來(lái)檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
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油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？
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熔斷器長(zhǎng)期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。
題型：多項(xiàng)選擇題