填空題機器人系統(tǒng)由（）、（）、（）、（）部分組成。
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離子濺射泵的特點是什么（）？
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工業(yè)機器人更新轉數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。
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從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。
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油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？
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應用在真空中的各式材料包括（）。
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弧焊機器人的焊接設備主要是由（）組成。
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RF 電源適用的設備是（）。
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