問答題簡述光刻工藝的8個基本步驟。

參考答案：

①氣相成底膜；
②旋轉(zhuǎn)涂膠；
③軟烘；
④對準和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥顯影；
⑦堅膜烘培；
⑧顯影檢查。