久久久久黑人强伦姧人妻,久99久热只有精品国产15

問答題寫出數(shù)值孔徑（NA）公式。

1.問答題簡述正膠和負膠區(qū)別。

正膠：曝光的部分易溶解，占主導地位；
負膠：曝光的部分不易溶解。負膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。

2.問答題簡述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對光刻膠的要求。

3.問答題簡述光刻工藝的8個基本步驟。

①氣相成底膜；
②旋轉(zhuǎn)涂膠；
③軟烘；
④對準和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥顯影；
⑦堅膜烘培；
⑧顯影檢查。

4.問答題簡述部分離子注入工藝的作用。

5.問答題簡述在先進的CMOS工藝中，離子注入的應用。